要解决的问题 : 以提供一个抛光布，其是使用用于抛光半导体基板和该等和为硬，同时保持弹性。溶液 : 该抛光布是其特征在于，通过附着一氨基甲酸乙酯树脂，以一种非织造织物。所述氨基甲酸乙酯树脂是优选的是一种isocyanurated氨基甲酸乙酯树脂，更优选的氨基甲酸乙酯中的isocyanuated所存在的一个或更多isocyanuration催化剂选自叔胺和有机金属盐。所述非织造织物优选含有聚酯的纤维。所述的抛光布优选地具有一个阿斯卡C硬度90至98，一种可压缩性的1.0至2.5%; 和一个回收的因子55至75%。版权 : (C)2007，&inpit